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愛(ài)德華真空泵系統(tǒng)說(shuō)明:任何真空系統(tǒng)都希望盡量縮短抽氣的時(shí)間,這關(guān)系到提高效率和降低能耗,但并不是所有的真空應(yīng)用都具有縮短抽氣時(shí)間的條件??梢园巡煌恼婵諔?yīng)用分為兩大類(lèi):一類(lèi)是不改慮系統(tǒng)內(nèi)的放氣量,而只有真空度的要求;另一類(lèi)是要求真空室內(nèi)充分的放氣,即放氣率要降到某一臨界值。這兩類(lèi)不同的應(yīng)用對(duì)泵配置的要求是不一樣的。對(duì)于前一類(lèi)應(yīng)用,如真空度要求在0.5pa以上,只要時(shí)間常數(shù)足夠的小,便可晝量縮短抽氣的時(shí)間。但如真空度要求在0.5Pa以下,就必須改慮放氣對(duì)壓力變化的影響。放氣量隨時(shí)間的變化緩慢。特別是在無(wú)烘烤的情況下。要在預(yù)定較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到較高的真空度,就必須以較大的抽速抽除較大的放氣量