點擊圖片查看大圖MEGA系列膜片閥 日本FUJIKIN富士金
產(chǎn)品簡介:
應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板制造等行業(yè)，或者其他一些有超高純流體要求的行業(yè).
應(yīng)用流體:設(shè)備和機臺里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.
工作壓力:低壓(1MPa),高壓(16.2MPa)
工作溫度: -10℃-80℃
動作方式:手動和氣動
氣動閥有常開和常閉兩種初始狀態(tài)可選
連接方式:焊接、卡套、VCR等連接方式
表面處理:EP(標(biāo)準(zhǔn))，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可選):5Ra,Ry＜0.7um.
接口尺寸:1/4”-3/4
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