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上市時(shí)間：2019年4月
此次發(fā)售的“SU3800”與“SU3900”，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900”，可選配*大直徑300mm *1、*大承重5kg樣品(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品臺(tái)，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。
同時(shí)操作性能也得到了全面升級(jí)。樣品安裝完成后，通過自動(dòng)光路調(diào)整及各種自動(dòng)功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實(shí)現(xiàn)了快速觀察。
前代機(jī)型是僅僅通過CCD導(dǎo)航相機(jī)的單一彩色圖像尋找視野*3。新機(jī)型則通過旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，分別拍攝樣品各個(gè)部分，再將各個(gè)圖像拼接成1張大圖像，實(shí)現(xiàn)了大視野的相機(jī)導(dǎo)航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。
產(chǎn)品簡介
(1) 支持超大/超重樣品測試
可搭載的* 大樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對(duì)* 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立高新技術(shù)的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載* 大直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對(duì)* 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品
(2) 支持大視野觀察
■“SU3800”與“SU3900”的* 大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm
■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上指定觀察目標(biāo)位置，即可移動(dòng)視野
■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像
(3) 通過自動(dòng)化功能提高操作性能
■通過自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型*4縮短了三分之一以下
■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動(dòng)監(jiān)控鎢燈絲*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長時(shí)間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。
日立高新中型掃描電鏡SU3800
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