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HDFK4
HDFK4重復(fù)定位度參考數(shù)值：
um分辨率光柵反饋對應(yīng)±3um重復(fù)定位度
0.5um分辨率光柵反饋對應(yīng)±2um重復(fù)定位度
0.um分辨率光柵反饋對應(yīng)±0.5um重復(fù)定位度
50nm分辨率光柵反饋對應(yīng)±250nm重復(fù)定位度
0nm分辨率光柵反饋對應(yīng)±50nm重復(fù)定位度
l Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅(qū)動(dòng)模塊等。
l Woodward（伍德沃德）：SPC閥位控制器、PEAK150數(shù)字控制器。
工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)備件
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Bosch Rexroth Bracket Lot 20
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Advantest R3131 Series Operation Manual P/N FOE-8311227F00
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0822341501 Bosch Rexroth Zugstangenzylinder
Bosch Rexroth MNR:R16518292Z Kugelwagen CS - unused - in OVP
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